真空鍍膜機的氣密性檢測的注意事項有哪些

鉑加熱到800°C~900°C的高溫下就會產生正離子的發射現象，而在鹵素氣體環境中，這種鉑發射正離子的現象將劇增，這就是“鹵素效應”。利用“鹵素效應”設計出來的檢漏儀就是鹵素檢漏儀。廣東振華在本文主要簡述在使用鹵素檢漏儀檢查真空鍍膜機的氣密性時，需要注意的一些問題。

在使用鹵素檢漏儀時，若鹵素檢漏儀的儀器探頭長時間處在較高濃度的鹵素氣體環境下，會產生“中毒效應”從而降低檢漏儀靈敏度。該裝置短時間“中毒”的話，在不含鹵素、清潔的空氣環境下繼續運轉一段時間，還可以恢復正常的狀態。但裝置長時間中毒的話，就只有較小恢復的可能性。因此，在裝置使用過程中要加以注意。因而要求在檢漏儀的附近不得放置含有鹵素化合物的東西，設備的檢漏場地需通風良好。

鹵素氣體的質量大于空氣（比空氣重）。因此，在真空設備檢漏時，要先自被檢真空室、管道或真空部件的下部向上部的順序進行。由于大漏孔修補前是比較難檢出小漏孔的，所以在此過程中檢出的漏孔需及時修補。

在固定式鹵素檢漏儀的使用過程中，其探頭元件是在真空環境中工作的，探頭元件是在10Pa~10?1Pa的壓力范圍內工作的，這是因為設備真空度太大的話它的靈敏度反而會越低。因此，在進行高真空鍍膜設備的檢漏時，檢漏儀的探頭要裝設在擴散泵的前級。

在攜帶式鹵素檢漏儀的使用過程中，鹵素氣體通過大的漏孔漏出的更多，可能會逸散到所有的設備縫隙、角落的附近，由于鹵素氣體的質量比空氣大，所以會有較長的停留時間，這樣可能導致探頭檢測到它，得到一些干擾信號。對于這一問題的存在主要是看它的滯留空間的幾何形狀及檢測環境的通風情況。因此，在真空設備的檢漏中，需要有良好的通風環境。利用攜帶式鹵素檢漏儀進行檢漏的過程中，由于鹵素氣體的擴散系數小，為使被檢真空室或管道內各處的鹵素氣體有一致的濃度，要經過較長的等待時間。

鹵素檢漏裝置的選材避免用到塑料和橡皮，因為塑料和橡皮會吸收鹵素氣體，還會逐漸釋放，導致檢漏儀的真空檢測過程中運作不穩定。

在示漏氣體濃度較高的情況下，鹵素檢漏儀的指示值與濃度將呈現非線性的關系。因此，在進行真空鍍膜機的定量測量時，進入探頭的鹵素氣體要低于百萬分之一的濃度。